非接触静電気分布測定システムと人体への応用

抄録

ＬＳＩの製造工程、あるいは、使用時に静電気破壊を起こす周辺物体の静電気分布を非接触で測定することが可能な静電気分布測定システムをＭＥＭＳ技術で試作し、これを用いて人体の帯電分布を測定した。半導体微細加工技術により細い捻じり梁で支えられた微小なミラーをシリコンにより作成し、静電気によるミラーの傾きを光学的に測定できるもので、これにより人体の帯電状態を非接触で測定した。