抄録
単結晶シリコンカンチレバーの光熱励振法について解説する．カンチレバーは励振レーザーによって局所的に熱せられ，カンチレバーの厚み方向の温度勾配によって熱応力が発生する．カンチレバーは単一素材で構成されるため，長手方向への温度勾配は熱応力を発生しない．従って，周期的モード形状を有する高次振動モードを効率的に励起することが出来る．波長405nmおよび780nmのレーザーダイオードを用いてカンチレバーのたわみ2次モードを励起し，光熱励振法における励振効率の波長依存性を調べた．405nmレーザーは780nmレーザーに比べて2.3から4.2倍励振効率が高かった．この振動効率の差は各レーザーの外部透過率を計測することにより，シリコンの波長吸収特性に起因することが明らかになった．
