東京大学生産技術研究所 基礎系部門
東京大学生産技術研究所サステイナブル材料国際研究センター
2013 年 65 巻 3 号 p. 347-348
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Ag単結晶のダイヤモンドワイヤーソーを用いた切断面に生じる欠陥の除去法として化学的エッチング手法を開発した．エッチング後はX線回折図形観測によって切断面の評価を行なった．エッチング用電解質として，濃硝酸（６７wt%）と純水の体積比１:１の希釈液を用い，４５kHzの超音波照射下で，溶解率８μm/分で１０分間エッチングを行なうと，Ag単結晶断面の欠陥が除去されることが判明した．
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