ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の開発とそのデバイス応用

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
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解説

ヘテロエピタキシャルダイヤモンド基板の開発とそのデバイス応用

澤邊厚仁, 児玉英之, 鷲山瞬, 日高正洋, 阿部諭, 市原幸雄, 古滝敏郎, 小山浩司, 大山幸希, 石垣哲孝, 王宏興, 武藤勝彦, 河野省三

著者情報

澤邊厚仁
青山学院大学理工学部
AGDマテリアル(株)
児玉英之
青山学院大学理工学部
AGDマテリアル(株)
鷲山瞬
青山学院大学理工学部
日高正洋
青山学院大学理工学部
阿部諭
青山学院大学理工学部
市原幸雄
青山学院大学理工学部
古滝敏郎
並木精密宝石(株)
小山浩司
並木精密宝石(株)
大山幸希
並木精密宝石(株)
石垣哲孝
セキテクノトロン(株)
王宏興
セキテクノトロン(株)
武藤勝彦
セキテクノトロン(株)
河野省三
青山学院大学理工学部

ジャーナルフリー

2011 年 62 巻 3 号 p. 163

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.62.163

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