表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
速報論文
反応性イオンプレーティングによるBN膜形成における基板温度の効果
陳 本栄, 渡部 修一, 菊池 正志, 富沢 和之
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キーワード: Reactive Ion Plating, Boron Nitride Films, Substrate Temperature
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2017 年 68 巻 12 号 p. 733-734

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