反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるAlNナノコンポジット硬質薄膜の作製

表面技術

Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869

速報論文

反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるAlNナノコンポジット硬質薄膜の作製

吉田智博, 内田聖也, 村澤功基, 工藤昌輝, 鳥山誉亮, 福井康雄, 櫻井正俊, 吉武剛

著者情報

キーワード: Nanocomposite Film, AlN, Hard Coating

ジャーナルフリー

2017 年 68 巻 12 号 p. 735-737

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.68.735

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2017 一般社団法人表面技術協会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

前身誌

金属表面技術

金属表面技術現場パンフレット

実務表面技術

Top