表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
膜応力による基板の反りの定量的計算について
杉浦 宗男, 田村 耕一, 小檜山 光信
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キーワード: Optical Coating, Thin Film Stress
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2020 年 71 巻 10 号 p. 601-606

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