表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
揺動自転運動による膜厚均一性および成膜粒子入射角均一性の向上
秋葉 正博
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キーワード: Thin Film, Sputtering, Thickness Uniformity, Motion Of Substrates
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2020 年 71 巻 10 号 p. 607-612

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