熱・プラズマを用いた炭素系硬質薄膜の新規成膜法の開発

表面技術

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◆進歩賞◆解説

熱・プラズマを用いた炭素系硬質薄膜の新規成膜法の開発

田中一平

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キーワード: Chemical Vapor Deposition, Plasma, Diamond, Carbon Nitride

ジャーナルフリー

2025 年 76 巻 2 号 p. 81-84

DOI https://doi.org/10.4139/sfj.76.81

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