表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
解説
有効遮蔽媒質法によるバイアス電圧に依存した表面応力の第一原理的研究
萩原 聡, 石橋 章司, 大谷 実
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キーワード: Surface Stress, Bias Voltage, Capacitor, Density Functional Theory
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2025 年 76 巻 3 号 p. 115-122

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