表面技術
Online ISSN : 1884-3409
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マイクロ波プラズマCVD法による表面酸化処理したクロム基板上でのダイヤモンドの合成
斎藤 英之八木 澄子酒井 彰三澤 俊平田中 壽晃相馬 英明田中 大之
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1998 年 49 巻 11 号 p. 1203-1208

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抄録

The effects of oxide film on diamond deposition on Cr substrates oxidized at high temperature in air or at room temperature in nitric acid were studied using microwave plasma CVD. Diamond is effectively deposited when oxide film forms on the substrate. Deposited diamond density increased markedly, making diamond film when chemically passive film was formed on the substrate using nitric acid. Surface roughening was also effective in depositing diamond film.

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