表面技術
Online ISSN : 1884-3409
Print ISSN : 0915-1869
ISSN-L : 0915-1869
プラズマCVDと溶媒処理を用いたフルオロカーボン系多孔質構造 Low-K 薄膜の作成
高橋 和生, 三田村 崇司, 斧 高一, 節原 裕一
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2002 年 53 巻 12 号 p. 857-859

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