クリーンルーム空調システムの局所的な換気性能の検証

抄録

クリーンルーム内には、高い清浄度が要求されるオペレーションエリアと、生産装置本体が設置されるメンテナンスエリアがあり、エリアにより空調に対する要求仕様が異なる。そこで、運転エリアをダウンフロー、メンテナンスエリアをアップフローで構成した空調システム "DOUP"を開発した。DOUP方式と従来のボールルーム方式の性能検証を行い、「DOUP」空調システムが有効な空調システムであることを確認した。併せてCFD解析モデルを構築し、検証を行った。