アップフロー方式クリーンルームに関する研究　（第2報）モックアップ実験による各気流方式の比較

抄録

クリーンルームにおける5種類の気流方式（ダウンフロー、フィルタユニットアップフロー、ファンフィルタユニットアップフロー、置換空調、天井吹出・天井吸込）の比較をモックアップ実験で行った。いずれの換気回数と室内熱負荷でもファンフィルタユニットアップフローが床上1.1mの粉塵量が最も少なかった。