PCVD法によるマイクロスフエアの合成

抄録

PCVD法によってテトラエトキシシランからマイクロスフェアを合成した。
得られたマイクロスフェアはプラズマ条件によって単分散状態のものや粒子が数個つらなったもの, また, 粒子が融合しているものなど異なった形態を示した。分散状態が良い重合体は拡散ポンプを使用した系において多く見られた。SEMによる観察結果より粒子径を調べてみると, 条件によって0.2μ程度のものから0.6μ程度のものが生成することがわかった。