静電気力によるマイクロプラズマ電極上に堆積した微粒子除去の研究

抄録

静電気力による微粒子除去や輸送では, 電気集塵や多層交流電圧による電界カーテンを用いたものなどが, 実用化されてきている。 室内環境制御の観点では空調機器類内部に設けられた微粒子捕集用フィルタ表面に堆積した微粒子の清浄化が問題となってきている。 本研究ではプラズマアクチュエータと同様の構造である二対の電極と誘電体層からなるマイクロプラズマ電極を用いた。 全体の厚さが約100 μm程度であるためソーラーパネルやウエハなどの表面に埋め込むまたはデバイスをそのまま表面に張り付けることでコンタミネーションの除去が期待される。 本研究では上記特徴を持つマイクロプラズマ電極を用いて, 電極表面上の微粒子の除去を目的に実験的検討を行った結果を報告する。