長作動距離光学顕微鏡および光電子強度の２次元マッピングによる硬Ｘ線光電子分光測定のための高速試料位置決め機構の開発

抄録

　BL09XU と BL47XU の硬Ｘ線光電子分光 (HAXPES) 計測において、1 μm 程度の集光ビームを利用した実験の際に複合材料中の測定対象となる局所領域に選択的にビームを照射するために、ビーム同軸から試料を高倍率で観察できる長作動距離顕微鏡システムと on-the-fly 測定による光電子強度の高速2次元マッピングシステムを開発した。これまで、試料位置調整には非常に長い時間を要していたが、本開発により従来に比べて10分の１以下の時間で試料位置を決定できるようになった。本システムは集光ビームを利用した局所領域の HAXPES 測定において広く応用される技術要素である。