Ni メッキ表面における UV 照射効果の解析

抄録

　ノイズフィルタデバイスの製造工程にて使用される Ni メッキにおける紫外線（UV）照射効果について、硬Ｘ線光電子分光およびＸ線光電子分光によって解析を行った。その結果、UV 照射によって、カーボン系のコンタミが除去される一方、最表面において Ni(OH)₂ の成長を促進することが明らかになった。Ni(OH)₂ の成長は後工程に有害であるため、コンタミ除去の効果と合わせて UV 照射条件を設定する必要があることが明確となった。