有機絶縁材料の化学構造を光電子顕微鏡で分析可能にする金属薄膜の成膜条件の確立

抄録

　本研究では、有機絶縁材料の膜面内元素・構造分布の把握を目的として、SPring-8 BL17SU の光電子顕微鏡測定における帯電と試料ダメージの防止方法を検討した。有機薄膜を形成した試料基板上へ Pt、Cu、Au 薄膜を付与し、O K 吸収端近傍のＸ線吸収スペクトル測定を通して、Pt 0.5 nm 膜がスペクトルの品質維持に最適であることを見出した。今後は Pt 0.5 nm 付与の条件を用いて、有機材料の分析により有用な C K 吸収端Ｘ線吸収スペクトルの測定条件確立を進める予定である。