表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 1Ca06
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11月19日(月)
フォトクロミック・ジアリールエテン表面における金属蒸着選択機能
*辻岡 強
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抄録

フォトクロミック・ジアリールエテンのアモルファス膜表面は、光異性化によって得られた着色状態と消色状態で金属蒸気の堆積性が異なる。これは異性化に伴うガラス転移点Tgの大幅な変化が原因であり、低Tg表面ではMg、Pbなどのの金属種が堆積しない。この機能を用いれば、レーザー走査による異性化とマスクレス蒸着によって容易に微細な金属パターンを得ることが出来、エレクトロニクス分野への応用が期待される。

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