主催: 公益社団法人日本表面真空学会
大阪教育大教育
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フォトクロミック・ジアリールエテンのアモルファス膜表面は、光異性化によって得られた着色状態と消色状態で金属蒸気の堆積性が異なる。これは異性化に伴うガラス転移点Tgの大幅な変化が原因であり、低Tg表面ではMg、Pbなどのの金属種が堆積しない。この機能を用いれば、レーザー走査による異性化とマスクレス蒸着によって容易に微細な金属パターンを得ることが出来、エレクトロニクス分野への応用が期待される。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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