マグネトロンスパッタリングにより形成したタングステン薄膜の配向性

抄録

マグネトロンスパッタを用いて形成される金属薄膜において、ターゲットにおいて反射する高速中性アルゴンの果たす役割について実験的に検討した結果を報告する。具体的には基板ホルダ端部において、基板を傾斜させて作製した薄膜の配向性を調べ、これまでに立てた仮設と矛盾しないことを示した。