表面科学学術講演会要旨集
2018年日本表面真空学会学術講演会
セッションID: 2Dp11
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11月20日(火)
マグネトロンスパッタリングにより形成したタングステン薄膜の配向性
*後藤 康仁藤原 裕史矢野 翔太郎
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抄録
マグネトロンスパッタを用いて形成される金属薄膜において、ターゲットにおいて反射する高速中性アルゴンの果たす役割について実験的に検討した結果を報告する。具体的には基板ホルダ端部において、基板を傾斜させて作製した薄膜の配向性を調べ、これまでに立てた仮設と矛盾しないことを示した。
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© 2018 公益社団法人 日本表面科学会
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