周波数変調原子間力顕微鏡法を用いたナノ接点の力学特性測定の研究

抄録

周波数変調原子間力顕微鏡(FM-AFM)を用いて金ナノ接点の等価バネ定数（形状で規格化すればヤング率）を測定し、同時測定した電気伝導度との関係を示してきた。接点の結合ポテンシャルの平衡距離付近の二階微分（等価バネ定数）の距離変化は、非接触領域に比べて大きいため、FM-AFMによる周波数変化計測の振幅依存が大きい。本研究では、FM-AFMによるナノ接点の等価バネ定数測定の精度を議論する。