ArクラスターSIMSを用いたToF型質量イメージング装置の開発

抄録

二次イオン質量分析法(SIMS)を用いた質量イメージングは工業や医学への応用が期待されている。しかし、従来の数keVのモノマーイオンを用いたSIMS分析では有機試料の分子構造を破壊してしまうという問題がある。我々は低損傷での照射が可能なクラスターイオンを用いたSIMSについて研究しており、今回の研究ではArクラスターSIMSを用いた高面分解能の質量イメージングを取得するための装置開発を行った。