ガラス及びSi基板上へのカーボンナノチューブ形成におけるバッファ層の影響に関する研究

抄録

Si及びガラス基板上へのCVD法を用いたCNT成長において、バッファ層の膜厚が及ぼす影響について調べた。バッファ層にはAl、Ni、Co、Tiを使用し、これらの膜厚を変化させることによってCNTの成長が変化するのか観測した。又同条件のバッファ層をSi基板、ガラス基板上に作製し、基板によるCNT成長の変化についても比較した。