Arクラスターイオン照射によるグラファイト欠陥の熱処理効果

抄録

Arクラスターイオンの構成原子数を選別して照射できる装置を開発した。本研究では、Arクラスターイオンを構成原子１個当たりの運動エネルギーが10eV以下の極低エネルギー領域でグラファイト表面に照射した。この結果、表面には照射エネルギーによってクレーター状、あるいは明点状の照射痕が発生した。さらに、これら２種類の照射痕は熱処理によって異なる構造変化を生じることを明らかにした。