AES高エネルギー分解能によるMn.MnO.MnO2標準スペクトルを用いたマンガン酸化物の定量分析

抄録

オージェスペクトルのバックグラウンドは、二次電子などにより生成されるため試料に応じて変動が大きく、一義に定義することが難しい。そのため、定量分析では微分することが一般的だが、複数の化学状態が混在した系では、各々のピークが重畳することにより、ピーク強度と原子濃度が比例しなく精度が悪くなる。本研究では、定量精度を向上させるため、標準スペクトルを用いた化学状態分析と、それを用いた定量法について検討する。