ALDの応用例―ペロブスカイト型太陽電池，粉体へのコーティング, バイオなど

抄録

半導体技術として発展してきた原子層堆積技術ですが、原子レベルでの制御性に加え、その緻密性や回り込み性から、半導体以外の用途でも多くの進展があり、いくつかの応用例を説明致します。