三極管型電離真空計の比感度係数に及ぼす空間電荷の影響

抄録

三極管型電離真空計の比感度係数は、圧力範囲を考えて測定し、使う必要がある。比感度係数の圧力依存性は空間電荷の効果によるものと考え、空間電荷の項を含めた式を基にするシミュレーションにより、実験データと比較、検討する。