可搬型超高真空試料搬送導入装置を用いた表面分析

抄録

我々は電池駆動式イオンポンプを搭載した試料搬送導入装置を開発してきた。昨年度は装置の小型化、軽量化を行い、さらに試料格納部の真空シールを改良し、到達圧力を良くした。今回はその装置を用いて、不活性ガス雰囲気可などで処理した試料の表面分析をいくつか試みたので報告する。