反応性HiPIMSに於ける高速度カメラを用いたプラズマ挙動計測

抄録

医療デバイスにおいてはDLCコーティングが最適とされておりその成膜方法としてHiPIMS法が注目されている．このプロセスではDC電源に比べ低デューティのパルス電圧を印加することで大電力が投入できるため，膜の高密度化,高密着性が期待される． 現在最適なHiPIMS-DLC成膜技術の開発を進めているがプラズマの挙動について不明な点が多いため超高速度カメラを用いてその挙動を計測したので報告する．