広島大学工学部
1996 年 20 巻 8 号 p. 61-66
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青緑色発光のEL発光層材料であるSrS : Ce薄膜を製膜する際の課題として、SrSの組成比のずれの防止や結晶性の改善を行うことが必要である。本実験では、蒸着源としてZnSを混合したSrS : CeCl_3ペレットを用いて薄膜を作製し、さらに基板温度を変化させて膜の性質の変化を調べた。
映像情報メディア学会技術報告
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