超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2P3-7 c軸傾斜配向すべりモードScAlN薄膜共振子を用いた生体反応検出
矢崎 花, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 高柳 真司, 吉田 憲司, 柳谷 隆彦
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2018 年 39 巻 論文ID: 2P3-7

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© 2018 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会
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