超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2P3-8 c軸傾斜配向ScAlN薄膜/音響多層膜構造の共振子を用いた400MHz付近における液体粘性評価
山川 愉生, 五月女 巧, 唐澤 嶺, 柳谷 隆彦
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2018 年 39 巻 論文ID: 2P3-8

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© 2018 特定非営利活動法人超音波エレクトロニクス協会
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