超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2E3-3 次世代半導体基板材料の超音波振動研削に関する研究
Thanawan Bunphen, 春田 響, Sutasn Thipprakmas, Peerapong Kasuriya, 神 雅彦
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2025 年 46 巻 p. 152-

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