独立行政法人理化学研究所 基幹研究所 大森素形材工学研究室
2011 年 42 巻 p. 59-74
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全反射蛍光X線分析法は，液滴，微粒子，薄膜のような微少試料に極微量含まれる元素を分析できる方法であり，その応用範囲は半導体分析，環境分析，食品分析，生体試料分析など多岐にわたっている．また，市販装置として据置型のものからハンディー型のものまで開発されてきた．本稿では，全反射蛍光X線分析法がどのようにして高感度化を達成したか，据置型からハンディー型までの全反射蛍光X線分析装置の発展の経緯や特色および装置構成要素の特色を紹介する．
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