エネルギー分散方式と単色X線励起の組合せによる軟X線領域の高感度化

抄録

近年，エネルギー分散方式を用いた微量分析は，多く報告されている．本研究では，軟X線の高感度分析を目的として，励起源と検出器窓の改善を行った．励起源には，分光結晶により単色化したW-Mα₁線を用いて，X線管からのバックグランドの低減を図った．また，検出器窓材には，一般的に使用されているベリリウムから高分子（AP3.3）に変更したことで，軟X線の吸収を抑えることに成功した．