広島大放射光センターでの軟X線XAFS測定において，単素子のSDD（silicon drift detector）とデジタルパルスプロセッサーを用いる蛍光X線測定系を導入し10万cps程度までの計数率に対応できるようになった．さらに，デジタル信号処理の利点として，エネルギー分解能を要するパルス処理と並列して，数え落としが無視できる早い信号処理を行うことで，数え落としを実測しながらのXAFS測定が実現した．本システムを用いて塩化カルシウム溶液のカルシウムK殻XAFS測定に取り組み，蛍光法を用いてmMレベルからMレベルの高濃度溶液まで対応できることを示した．同時に数え落としを補正した条件でも500 mM以上の濃度ではスペクトルの変形が観測され，高濃度の試料で現れる自己吸収効果であることが確認された．
