Micro-EDXRFによる各種工業材料の酸素・フッ素のイメージング分析

抄録

X線顕微鏡（micro-EDXRF）では，試料の光学像と照合し元素イメージングを行うことで，試料中に含まれる元素の分布を知ることができるので，故障解析や異物解析に良く用いられる．しかしながら，EDXRFではBeの検出器窓により炭素（C），酸素（O），フッ素（F）などの軽元素が窓材に吸収されてしまい，蛍光X線の検出が難しい．SEM-EDXではポリマーが窓材に使われている例もあるが，X線検出器の検出素子は可視光にも反応するため，可視光がポリマー窓を透過しノイズとなってしまう．そこで，検出器窓が，可視光は通さずX線を通すグラファイト膜が使用されている検出器を採用し，micro-EDXRFに搭載して従来は難しかった軽元素分析を試みた．本研究では，各種工業材料中のmicro-EDXRFによる軽元素イメージングを試みたので報告する．