応用物理学会学術講演会講演予稿集

第82回応用物理学会秋季学術講演会

選択された号の論文の3420件中1551～1600を表示しています

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窒化物セラミックスを使った酸化鉄還元反応その場観察

石川信博, 三井正, 木村隆, 竹口雅樹, 三石和貴

セッションID: 10a-N401-4
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1551

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アモルファス薄膜の電子線照射による局所結晶化

棚橋俊介, 大川原彩恵, 徳永智春, 山本剛久

セッションID: 10a-N401-5
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1552

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電子ベッセルビームをもちいたADF-STEMにおける焦点深度拡大

石田高史, 大塚真弘, 桑原真人, 齋藤晃, 川崎忠寛

セッションID: 10a-N401-6
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1553

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光陰極電子源を用いた100kVパルス透過電子顕微鏡による時間分解計

桑原真人, 水野りら, 中蔵虎二郎, 古井雅人, 森下英郎, 石田高史, 長沖功, 揚村寿英

セッションID: 10a-N401-7
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1554

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表面キャリアダイナミクスの観察に向けたフェムト秒レーザーを用いた超高速走査型電子顕微鏡の開発

山本祐揮, 江本悠河, 嵐田雄介, 岸部義也, 赤田圭史, 羽田真毅, 吉田昭二, 藤田淳一

セッションID: 10a-N401-8
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1555

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フェムト秒レーザーの鉛直照射を用いた超高速SEMの開発

江本悠河, 山本祐揮, 嵐田雄介, 岸部義也, 赤田圭史, 吉田昭二, 羽田真毅, 藤田淳一

セッションID: 10a-N401-9
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1556

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遷移金属炭化物の炭素欠損：仕事関数と密度

吉武道子

セッションID: 10p-N401-1
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1557

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C₆₀分子軌道を介した電界電子放出パターン形成機構の解明

古澤怜也, 鶴田諒平, 佐々木正洋, 山田洋一

セッションID: 10p-N401-2
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1558

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アモルファス炭素被覆による球面電子源の開発

鶴田諒平, 日向雄介, 古澤怜也, 佐々木正洋, 松永宗一郎, 山田洋一

セッションID: 10p-N401-3
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1559

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Field Emission MicroscopeによるGa液体金属電子源の評価

安藤大貴, 橋本凱, 三村秀典, 根尾陽一郎

セッションID: 10p-N401-4
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1560

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転写モールド法微小突起型陰極アレイの紫外線発光特性の評価

文宗鉉, 清水皓介

セッションID: 10p-N401-5
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1561

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n型AlGaNをエミッターに用いた熱電子発電器の試作と特性評価

木村重哉, 吉田学史, 宮崎久生

セッションID: 10p-N401-6
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1562

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平面型グラフェン電子源の地球低軌道応用に向けた原子状酸素耐性向上

松本直之, 鷹尾祥典, 長尾昌善, 村上勝久

セッションID: 10p-N401-7
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1563

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Graphene-Oxide-Semiconductor型平面電子源の走査型電子顕微鏡応用

亀田ゆきの, 村上勝久, 長尾昌善, 三村秀典, 根尾陽一郎

セッションID: 10p-N401-8
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1564

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ナノ結晶シリコンを用いた平面型電子放出素子からの電子放出 (Ⅱ)

嶋脇秀隆, 村上勝久, 長尾昌善, 三村秀典

セッションID: 10p-N401-9
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1565

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Graphene/SiO₂/n-Si積層構造からの高効率電子放出機構

村上勝久, 山田洋一, 根尾陽一郎, 鷹尾祥典, 佐々木正洋, 三村秀典, 長尾昌善

セッションID: 10p-N401-10
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1566

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三極型HPPMSを用いたHf, HfN製スピント型エミッタの作製

小沢真, ミヤモハメッドシュルズ, 中野武雄, 村田博雅, 村上勝久, 長尾昌善

セッションID: 22a-P07-2
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1567

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転写モールド法によるプラズモニック結晶ホトカソードの作製

村松航太, 文宗鉉, 細田誠, 三村秀典, 根尾陽一郎

セッションID: 22a-P07-3
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1568

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深紫外線フィールドエミッションランプの開発

小池励, 細田誠, 三村秀典, 松本貴裕, 根尾陽一郎

セッションID: 22a-P07-4
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1569

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ディープラーニングを利用した二次電子放出の研究

楠見将啓, 平井義彦, 安田雅昭

セッションID: 22a-P07-5
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1570

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対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証

堀内敏行, 小林宏史

セッションID: 11a-N401-1
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1571

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Si系材料添加における193nm液浸レジストの表面特性制御

唐晨, 関口淳, 安田雅昭, 平井義彦

セッションID: 11a-N401-2
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1572

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ナノパターンポリマー基板上におけるリン酸 Ca 系薄膜の初期成長過程

金子奈帆, 前田優斗, 大賀友瑛, 林智広, Mondarte Evan Angelo, 金子智, 松田晃史, 吉本護

セッションID: 11a-N401-3
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1573

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転写法を用いた二段貫通電極自立膜の作製

古田敦大, 日和佐伸, 谷口淳

セッションID: 11a-N401-4
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1574

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低温熱ナノインプリントを用いた微細貫通孔付き自立樹脂薄膜の作製

田邉英毅, 川田博昭, 安田雅昭, 平井義彦

セッションID: 11a-N401-5
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1575

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X線自由電子レーザーを用いたBiコヒーレントフォノン発生機構の解明

久保田雄也, 田中良和, 富樫格, 戎富雄, 玉作賢治, 大沢仁志, 和田哲弥, 杉野修, 松田巌, 矢橋牧名

セッションID: 11a-N401-6
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1576

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時間分解顕微鏡による NiCo₂O₄薄膜における超高速消磁の観測

高橋龍之介, 谷佳樹, 安部弘隆, 山崎未南斗, 鈴木郁美, 菅大介, 島川祐一, 和達大樹

セッションID: 11a-N401-7
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1577

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カーボンナノチューブの界面構造と熱特性・機械特性の相関

四方諒, 鈴木弘朗, 亀高諄, 重枝勇歩, 井上寛隆, 矢嶋渉, 前谷光顕, 田中佑一郎, 西川亘, 林靖彦, 羽田真 ...

セッションID: 11a-N401-8
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1578

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O₂中性クラスタービーム照射によるCu酸化膜形成と評価

太田崚樹, 竹内雅耶, 豊田紀章

セッションID: 10a-N402-1
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1579

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有機酸とAr-GCIB照射を用いたSiO₂の原子層エッチング

藤原怜輝, 竹内雅耶, 豊田紀章

セッションID: 10a-N402-2
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1580

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加速中性原子ビーム(ANAB)の発生とビーム特性・照射効果の検討

朝倉亘亮, 豊田紀章

セッションID: 10a-N402-3
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1581

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反応性ガス雰囲気下ガスクラスターイオンビーム照射を用いた表面活性化接合の検討

花原総一, 竹内雅耶, 豊田紀章

セッションID: 10a-N402-4
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1582

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溶液の高感度XPS測定に向けたSi₃N₄窓材料のGCIBによる極薄化

竹内雅耶, 藤原怜輝, 豊田紀章

セッションID: 10a-N402-5
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1583

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Arイオン照射単結晶Si基板上へのAu蒸着によるAuナノワイヤ成長

水谷仁美, 西尾弘司, 高廣克己

セッションID: 10a-N402-6
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1584

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内径の異なるキャピラリーから得られる真空エレクトロスプレー液滴イオンビームによるスパッタ体積

川瀬幹大, 二宮啓, チェンリーチュイン, 平岡賢三

セッションID: 10a-N402-7
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1585

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クラスターSIMSにおけるフラグメントイオン強度の1分子当たりエネルギー依存性

水畑健, 盛谷浩右, 中村知道, 乾徳夫

セッションID: 10a-N402-8
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1586

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LIB負極表面の大気圧MeV-SIMS測定

瀬木利夫, 松尾二郎

セッションID: 10a-N402-9
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1587

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極微小領域におけるGeのイオンビーム照射挙動

上田貴大, 大石脩人, 新田紀子

セッションID: 22a-P07-6
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1588

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カーボンナノチューブ製電子放出源の原子状酸素照射による影響評価

江崎啓介, 板谷一輝, 深見侑希, 芦田優作, 杉本紘基, 大川恭志, 河本聡美, 横田久美子, 田川雅人

セッションID: 10a-N204-1
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1589

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微細加工表面における分子散乱を用いた受動的圧縮機構

庄田光佑, 上瀧優希, 板谷一輝, 江﨑啓介, 杉本紘基, 芦田優作, 小澤宇志, 山下裕介, 西山和孝, 横田久美子, ...

セッションID: 10a-N204-2
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1590

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表面活性化接合用新形高速原子ビーム源内部のプラズマ解析

森崎諒, 櫻井淳平, 岡智絵美, 山崎貴大, 赤尾隆嘉, 高橋知典, 辻裕之, 大野哲靖, 秦誠一

セッションID: 10a-N204-7
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1591

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Si(001)2×1表面室温酸化に観られるO1s光電子スペクトルのサテライトピークと酸素分子の並進運動エネルギーの関係

吉越章隆, 津田泰孝, 冨永亜希, 坂本哲哉, 小川修一, 髙桑雄二

セッションID: 10a-N204-8
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1592

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レーザー生成Snプラズマ発光誘起水素プラズマの時空間分解レーザートムソン散乱計測

神家幸一郎, 富田健太郎, 堀田隼矢, Yiming Pan, 戸室啓明, 森田昌幸, 柳田達哉, 内野喜一郎, 山本直嗣

セッションID: 10a-S301-1
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1593

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エッチング装置で生成したアルゴン低気圧誘導結合プラズマの発光分光計測による電子温度・電子密度・電子エネルギー分布関数診断

山下雄也, 秋葉拓也, 岩永敏秀, 伊達修一, 山岡英彦, 赤塚洋

セッションID: 10a-S301-2
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1594

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Ar・N₂混合大気圧非平衡プラズマにおける発光分光法による電子温度・電子密度の計測

石塚良, 根津篤, 赤塚洋

セッションID: 10a-S301-3
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1595

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大気圧水素雰囲気におけるCARSを用いた高感度電界計測

小池健, 宗岡均, 寺嶋和夫, 伊藤剛仁

セッションID: 10a-S301-4
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1596

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インピーダンス分光法を用いたプラズマ曝露環境下のプローブ表面状態モニタリング

両角潤樹, 久山智弘, 鬼頭聖弥, 占部継一郎, 江利口浩二

セッションID: 10a-S301-5
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1597

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螺旋状窒素プラズマ中の窒素原子密度計測

西尾亮佑, 梶田信, 大野哲靖, 田中宏彦, 浅岡晃次, 堤隆嘉, 堀勝

セッションID: 10a-S301-6
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1598

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面照射型大気圧マルチガスプラズマ装置の開発と基礎特性の測定

野口剛, 山崎顕一, 末永祐磨, 沖野晃俊

セッションID: 10a-S301-7
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1599

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誘電体バリア放電大気圧窒素プラズマジェットにおける窒素分子振動温度および窒素原子密度計測

三宅淳文, 白井直機, 佐々木浩一

セッションID: 10a-S301-8
発行日: 2021/08/26
公開日: 2024/09/24

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.2.0_1600

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