DLC (Diamond-Like Carbon) は炭素を主成分とし, ダイヤモンド成分に由来する被膜の硬さに由来する高い耐久性や, グラファイト成分に由来する低摩擦を示す潤滑性などの物性を持ち, 幅広い分野への適用されているコーティングである. DLC は, 従来から自動車部品や機械部品, 切削工具などを主な市場として展開されてきた. 一方で, 近年は新たな分野として半導体製造分野や医療分野, 食品関連分野などへの展開が増えつつある. 本報告では, DLC が有する電気特性を活かした静電気放電 (ESD (Electro-Static Discharge) ) 対策用途への展開や, シリコンウェハとの耐摩耗性評価など, 用途に合わせた被膜の物性評価結果の報告と, それらの物性を活かした最新の適用事例を紹介する.

抄録全体を表示