抄録
両面を異なる材質で樵成した微細カンチレバーを大気中に暴露した場合，湿度変化に応じて微細カンチレバーにたわみ変位が生じる。Au膜とSi3N4膜を微細カンチレバーの上下面に形成した場合，相対湿度の増加に伴ってレバーはSi3N4膜側へたわんだ。また，カンチレバーの両面をAu膜で形成 した場合は，たわみ変位は殆ど生じなかった。すなわち，微細カンチレバーのたわみ変位は，レバーの上下面への水蒸気の吸着特性に対して差動的に生じると考えられる。これらのメカニズムを，固体 表面での水蒸気のクラスター核生成における活性化エネルギーの点から考察した。微細カンチレバーのたわみ変位を利用することにより，湿度センサーとしての応用が期待できる
