抄録
走査フォース顕微鏡測定で用いる探針を有機シラン化合物で修飾することで，試料表面の官能基情報を得る手法について検討した。Siウエハー上に形成した二成分系パターン化有機シラン薄膜における官能基の二次元分布評価は，化学修飾探針と試料間に働く化学的相互作用の検出に基づき行った。その結果，探針と試料間に働く水平力の大きさは，両表面に存在する官能基の組み合わせに強く依存した。また，探針表面に固定化した有機シラン薄膜の構造を明らかにするために，Siウエハー上に化学修飾した有機シラン薄膜をモデル表面として，微小視斜角入射X線回折測定，及びX線反射率測定により薄膜の分子凝集状態を評価した。
