日本接着学会誌
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技術論文
パネルレベルパッケージング用耐熱仮固定テープ
菊池 和浩柄澤 泰紀高野 健杉野 貴志末次 正
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2022 年 58 巻 2 号 p. 66-72

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抄録

ファンアウトパネルレベルパッケージングに用いる仮固定用テープは高耐熱性が求められる。そのため,シリコーン系粘着剤が用いられている。しかしながら,シリコーン系粘着剤は被着面に低分子シロキサンを転移させ,回路関係の導通不良等の不具合が生じる可能性がある。本報では粘着主剤の主モノマーにアクリル酸2- エチルヘキシル,架橋剤にイソシアヌレート環を有するポリイソシアネート,添加剤としてポリブタジエンを主成分とする反応性エラストマー( RE) から構成された粘着剤が,高耐熱性と被着面への転移の少ない剥離性能を示したので報告する。さらに,パターニングして段差を設けたシリコンウエハに対して加熱後に粘着剤の転移が非常に少ない優れた剥離性能を示した。これはRE を添加することで粘着剤の真破断ひずみ,真破断応力が向上することにより,その性能が効果的に作用していることを見出した。

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