水素・アルゴンプラズマによるタングステン堆積層形成と水素捕捉に関する研究

抄録

水素・アルゴン混合のRFプラズマによりタングステンを損耗させて堆積層を作成した。また、堆積層からの水素放出実験を行い水素捕捉量を定量した。