印刷デバイス用ナノコンポジット保護膜の低温作製技術の開発

抄録

フレキシブル電子デバイス用保護膜としてプラスチック基板に適応可能な温度で高バリア性のシリコン系ナノコンポジット保護膜を調製する技術について検討を行い、またその膜の印刷による作製技術について検討を行った。