抄録
広帯域チップ間信号伝送を実現するため，我々は薄膜導波路と波長多重技術を利用した光配線を検討している。今回、２つの分布ブラッグ反射器(DBR)で構成する共振器とグレーティングカップラ(GC)を集積する、導波型共振器集積グレーティングカップラ(CRIGIC)を設計・作製し、動作確認実験を行った。CRIGICは短い結合長で高効率な結合を得ることが可能な素子である。今回、CRIGICを結合長20μmで作製したところ、入力波長843.22nmのとき、結合長500μmのＧＣの0.8倍の結合効率が得られた。
