色情報を用いた３D外観検査技術

抄録

表題：色情報を用いた３D外観検査技術IC外観検査の中で、コプラナリティやフット角は、“高さを測る”必要があり、3次元または３D検査と呼ばれている。２D検査は、画像処理の発達によって、ムラやシミなどの問題を除くと、ある程度完成された検査が行えるようになってきたが、３D検査には、まだ多くの問題が残されている。発表では、“高さ情報を色情報として”２D検査画面に挿入することで、３D検査を行うとする２つの技術（試み）について紹介する