抄録
近年,パワーデバイスの耐高温接合材として,銀ナノ接合が注目されている.この銀ナノは接合する際、焼結によってナノ粒子が互いにネッキングしていき、接合材としての役割を果たすようになる。この時、銀ナノの内部に空隙が生じる.この空隙周囲の銀ナノが空気に触れることで、表面に酸化被膜が形成される。これにより、酸化膜が生じていない銀ナノとは異なる機械的特性となる、と考えられる。また、空隙率や空隙の形状は焼結条件に依存するため、銀ナノの強度は焼結条件によって変化する。そこで本研究は、空隙の形状と酸化膜を考慮にいれた銀ナノ、解析モデルの提案を行い、機械的特性と空隙形状との相関を探った。