液晶偏光変換素子を用いた反射型液晶パネルのセル厚及びねじれ角の高速同時測定

抄録

本研究では、ホモジニアス・同心円配向処理を行った２枚のガラス基板を組み合わせた液晶偏光変換素子、偏光板、レーザ光源及びCCDカメラを用いて、反射型液晶セルのセルパラメータとするセル厚及びねじれ角の高速測定法を提案した。測定系には機械的な制御部を必要とせず、反射型液晶セルからの反射光強度をCCDカメラのビデオレート(30フレーム/秒)で画像を取り込むことにより、基板面の表面反射に影響されずに測定画像の光強度座標から、セルパラメータの測定を行うことができた。