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本研究では、SNMSが局所U-Pb年代分析に適用できるか確認するため、2wt.%とU含有量が高い変質ジルコン(シルト石)、形成年代が約39億年とわかっているGreenland産のジルコン(U濃度:約200ppm)、91500ジルコン(U濃度:約100ppm、形成年代:1065Ma)及び、91500ジルコンよりもU濃度が高く(35-315ppm)、形成年代が1850MaのQGNGについて測定を行った。その結果、4つ全てのサンプルにおいてUとU酸化物及び、Pbのピークを検出することができた。さらに、MULTUMを用いて質量分解能を上げることでPbとHf酸化物などの妨害イオンのピークを分離できた。また、測定後のスパッタ痕の直径は約1μmであった。発表では、本装置を用いたサブミクロンスケールの局所U-Pb年代分析の現状について報告する。